БАРОМЕТРИЧНІ
перетворювачі ІНТЕГРОВАНОЇ
НАВІГАЦІЙНОЇ СИСТЕМИ безпілотних
літальних апаратів
В.Ю. Ларін, Я.Г. Родченко
В статті розглянуто структуру та принцип дії,
характеристики мікромеханічних
перетворювачів тиску, які побудовані за сучасними MEMS-технологіями. Проаналізовано математичну модель
процесу перетворення з урахуванням сумарної
похибки вимірювання тиску. Розглянуто складові сумарної похибки вимірювання та її математична модель. Надано опис та результати експериментального дослідження характеристик
реального барометричного перетворювача
тиску в стабільних умовах та в умовах впливу зміни температури
зовнішнього середовища.
Ключові слова: барометричні перетворювачі, MEMS-технологія, чутливий елемент, експериментальні дослідження,
вплив температури.