Барометрические преобразователи
интегрированной навигационной системы беспилотных летательных аппаратов
В статье рассмотрены структура и принцип
действия, характеристики микромеханических преобразователей давления,
построенных на основе современных MEMS-технологий.
Проанализирована математическая модель процесса преобразования с учетом
суммарной ошибки измерения давления. Рассмотрены составляющие суммарной ошибки
измерения и её математическая модель. Приведено описание и результаты
экспериментального исследования барометрического преобразователя давления в
стабильных условиях и в условиях влияния изменения температуры внешней среды.
Ключевые слова:
барометрические преобразователи, MEMS-технология, чувствительный элемент,
экспериментальные исследования, влияние температуры.